Основы туннельно-зондовой нанотехнологии

Основы туннельно-зондовой нанотехнологии

Автор(ы): Неволин В. К.

23.06.2010
Год изд.: 1996
Описание: Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если размеры этих элементов достигают порядка нанометра, то существенными становятся квантовые эффекты, принципиально меняющие физику явлений, лежащих в основе работы приборов. Создание таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе является предметом нанотехнологии. В пособии изложены физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии 21 века.
Оглавление:
Основы туннельно-зондовой нанотехнологии скачать без регистрации https://book-com.ru

Введение [3]
1. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОМЕТРОВЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СТРУКТУР С ПОМОЩЬЮ ТУННЕЛЬНОГО ЗОНДА [9]
1.1. Физические эффекты в туннельно-зондовой нанотехнологии [9]
1.2. Концепция ТЗН в газах и жидкостях [14]
1.3. Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек [25]
1.4. Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек [29]
1.5. Локальная глубинная модификация полупроводниковых подложек в туннельном микроскопе [34]
1.6. Локальная электродинамическая модификация поверхности подложек [39]
1.7. Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением [44]
1.8. Модификация свойств среды в зазоре между туннельным зондом и подложкой [51]
1.9. Электрохимический массоперенос [65]
1.10. Массоперенос из газовой среды [68]
2. РАСТРОВЫЕ ТУННЕЛЬНЫЕ МИКРОСКОПЫ ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ [71]
2.1. Механическая часть РТМ [72]
2.2. Система защиты [79]
Заключение [81]
Литература [82]

Формат: djvu
Размер: 762717 байт
Язык: Русский
Скачать: открыть
6
737970″>

 



Яндекс.Метрика Рейтинг@Mail.ru